年产190吨前驱体材料产业化项目

公司拟投资19000万元于现有厂区内建设“年产190吨前驱体材料产业化项目”，项目分两期建设，其中一期投资8**0万元，二期投资1**00万元。主要建设内容为：

一期：一期1阶段：四（二甲氨基）钛产线，年产能为3吨；NAP-962产线，年产能为2吨；六氯乙硅烷产线，年产能为20吨；新戊硅烷产线，年产能为5吨；1,1,1-三氯乙硅烷产线，年产能为5吨；一期2阶段：NAP-901产线，年产能为1吨；NAP-902产线，年产能为5吨；NAP-1**1产线，年产能为1吨；三甲基铝产线，年产能为2吨；四（二甲氨基）钛产线，年产能为3吨；正硅酸乙酯产线，年产能为120吨；

技改项目：1. 污水处理站南侧新建堆场，用于放置闲置设备，建设面积300平方米；2.钢瓶车间2F新建超净间，用于钢瓶内清洗，建设面积660平方米；3.原45吨项目中DIPAS尾气进68吨项目建设的尾气处理系统；4. 原433吨项目中HfCl4/InCl3生产线搬迁至钢瓶车间三楼。

二期：建设NAP-901产线，年产能为9吨；NAP-902产线，年产能为10吨；NAP-1**1产线，年产能为4吨。两期建成完成后可形成年产190吨前驱体材料的生产能力。本项目仅对一期及技改项目开展环境影响评价。

南大光电半导体材料有限公司是由江苏南大光电材料股份有限公司投资的全资子公司，位于全椒县十谭产业园化工集中区，公司以高新技术光电子及微电子材料的研究、开发、生产、销售为主，公司目前已具备年产 50 吨三甲基铝(HK)、2.5 吨三甲基铝(OPTO)、5 吨三甲基铝(TMA),5 吨三甲硅烷基胺(TSA)、镓镁合金(镓 60%、镁 40%)55 吨;铟镁合金(铟 55%、镁 45%)5 吨;六氯乙硅烷(HCDS)20 吨;四氯化钛(TICL4)10吨;正硅酸乙酯(TEOS)120吨;三氯化铝(AICl;)1吨;四氯化铪(HFCL)1吨;三氯化铟(INCI)1吨;(3，3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴(CCTBA)1 吨等的生产规模，满足集成电路及 LED 等行业需求标准。