年产190吨前驱体材料产业化项目（一期）

项目概述

项目选址滁州市全椒县十谭产业园化工集中区南大光电半导体材料有限公司内，项目投资1**00万元，本项目分两期建设，项目一期总投资8800万元，其中环保投资200万元，占比2.272%。项目建设规模：一期：一期1阶段：TDMAT产线，年产能为3吨；NAP-962产线，年产能为2吨；HCDS产线，年产能为20吨；NPS产线，年产能为5吨；3CDS产线，年产能为5吨；一期2阶段：NAP-901产线，年产能为1吨；NAP-902产线，年产能为5吨；NAP-1**1产线，年产能为1吨；TMA产线，年产能为2吨；TDMAT产线，年产能为3吨；TEOS产线，年产能为120吨。

技改项目 ：1. 污水处理站南侧新建堆场，用于放置闲置设备，建设面积300平方米 ；2.钢瓶车间2F新建超净间，用于钢瓶内清洗，建设面积660平方米；3. 原45吨项目中DIPAS尾气进68吨项目建设的尾气处理系统；4. 原433吨项目 中HfCl4/InCl3生产线搬迁至钢瓶车间三楼；

二期：建设NAP-901产线，年产能为9吨；NAP-902产线，年产能为10吨；NAP-1**1产线，年产能为4吨。两期建成完成后可形成年产190吨前驱体材料的生产能力。本项目仅对一期及技改项目开展环境影响评价。